产品名称：四氟化碳
CAS 号：75-73-0
四氟化碳又称四氟甲烷，氟利昂14；
分子式CF4；
物化性质：
| 熔点 | -183.6℃ |
| 沸点 | -128.1℃ |
| 液体密度 | （-130℃）1.613g/cm3 |
| 临界温度 | -45.67℃ |
| 临界压力 | 3.73MPa |
| 临界密度 | 7.1dm3/mol |
在常温下，四氟化碳是无色、无臭、易压缩性气体，具有很高的稳定性，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水。属于完全不燃性气体。
应用：
四氟化碳可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面大量使用。
产品规格
| 项目 | 指 标 | |
| CF4， ％（V/V）≥ | 99.999 | 99.995 |
| N2， 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 |
| O2， 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 |
| CO2， 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 |
| CO， 10-6(V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 |
| SF6， 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 |
| H2O， 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 |
| HF， 10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 |
| TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8)，10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 |
| 总杂质含量 ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 |
产品采用钢质无缝气瓶多种规格系列化包装，满足不同用户需求。
| 钢瓶规格 | DOT/47L | DOT/43L | DOT/8L | DOT/4L |
| 瓶阀型号 | CGA580 CGA590 CGA320 DISS716 | |||